Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik haben sich zu Schlüsseltechnologien mit hohem Entwicklungspotential für die Zukunft entwickelt. Mikrotechnologien werden in immer größerem Umfang bei der Entwicklung neuer Produkte angewandt. Mit den verschiedenen Fertigungstechnologien - PVD, CVD, Diffusion, Lithografie, Oxidation, Ionenimplantation - lassen sich in Reinräumen mit sehr unterschiedlichen Materialen und Chemikalien Mikrostrukturen erzeugen. Besonders bei den Dünnschichttechnologien führen innovative Lösungen zu modernen Produkten.