Mikrotechnologie

Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik haben sich zu Schlüsseltechnologien mit hohem Entwicklungspotential für die Zukunft entwickelt. Mikrotechnologien werden in immer größerem Umfang bei der Entwicklung neuer Produkte angewandt. Mit den verschiedenen Fertigungstechnologien - PVD, CVD, Diffusion, Lithografie, Oxidation, Ionenimplantation - lassen sich in Reinräumen mit sehr unterschiedlichen Materialen und Chemikalien Mikrostrukturen erzeugen. Besonders bei den Dünnschichttechnologien führen innovative Lösungen zu modernen Produkten.

Arbeitsgebiete

  • Dünnschichterzeugung mittels Elektronenstrahlverdampfung und Sputtern
  • Schichtmodifikation durch Diffusion
  • Photolithographie
  • nasschemisches Ätzen und Trockenätzen
  • Taktile und optische Profilometrie
  • optische Mikroskopie und Rasterelektronenmikroskopie mit EDX und EBSD
  • Mikroschliffpräparation
  • Vakuumtechnik mit Restgasanalytik und Lecksuche
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