Labor für Mikrotechnologie

Gebäude	Laborgebäude I (Haus K)
Raum	Reinraum 0.15a
Wissenschaftl. Leitung	N.N.
Wissenschaftsgebiete	Dünnschichttechnologie, Reinraumtechnologie

Ausstattung

Klimatisierter Reinraum-Klasse 10.000 mit Schleuse/ Arbeitsplätze Klasse 100
Hochvakuumbeschichtungssystem UNIVEX 450 von Oerlikon Leybold Vacuum GmbH bestehend aus:
- Elektronenstrahlverdampfer mit 4 Tiegelanordnung zur Erzeugung von Schichtsystemen
- DC und RF Sputterquellen
- Ionenstrahlätzer
Analysetechnik bestehend aus:
- Taktile und optische Profilometrie Dektak 6, NT1100 von Veeco
- Digitales Lichtmikroskop Fa. Keyence VHX-600D

Praktische Demonstrationen in der Wissensvermittlung (z.B. Reinraumtechnik, optische Dünnschichttechnologie, Analysetechniken)