Labor für Mikrotechnologie

GebäudeLaborgebäude I (Haus K)
RaumReinraum 0.15a
Wissenschaftl. LeitungN.N.
WissenschaftsgebieteDünnschichttechnologie, Reinraumtechnologie
  • Labor für Mikrotechnologie, Bild 1

    Labor für Mikrotechnologie - Bild 1

  • Labor für Mikrotechnologie, Bild 2

    Labor für Mikrotechnologie - Bild 2

Ausstattung

  • Klimatisierter Reinraum-Klasse 10.000 mit Schleuse/ Arbeitsplätze Klasse 100
  • Hochvakuumbeschichtungssystem UNIVEX 450 von Oerlikon Leybold Vacuum GmbH bestehend aus:
     - Elektronenstrahlverdampfer mit 4 Tiegelanordnung zur Erzeugung von Schichtsystemen
     - DC und RF Sputterquellen
     - Ionenstrahlätzer
  • Analysetechnik bestehend aus:
     - Taktile und optische Profilometrie Dektak 6, NT1100 von Veeco
     - Digitales Lichtmikroskop Fa. Keyence VHX-600D

Lehrversuche

  • Labor Fertigungstechnologien der Elektrotechnik
  • Labor Werkstoffe und Fertigungsverfahren der Feinoptik 1 und 2

Praktische Demonstrationen in der Wissensvermittlung (z.B. Reinraumtechnik, optische Dünnschichttechnologie, Analysetechniken)

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