Labor für Mikrotechnologie

GebäudeLaborgebäude I (Haus K)
RaumReinraum 0.15a
Wissenschaftl. LeitungN.N.
WissenschaftsgebieteDünnschichttechnologie, Reinraumtechnologie

Ausstattung

  • ▪ Klimatisierter Reinraum-Klasse 10.000 mit Schleuse/ Arbeitsplätze Klasse 100
  • ▪ Hochvakuumbeschichtungssystem UNIVEX 450 von Oerlikon Leybold Vacuum GmbH bestehend aus:
        - Elektronenstrahlverdampfer mit 4 Tiegelanordnung zur Erzeugung von Schichtsystemen
        - DC und RF Sputterquellen
        - Ionenstrahlätzer
  • ▪ Analysetechnik bestehend aus:
        - Taktile und optische Profilometrie Dektak 6, NT1100 von Veeco
        - Digitales Lichtmikroskop Fa. Keyence VHX-600D

Lehrversuche

  • ▪ Labor Fertigungstechnologien der Elektrotechnik
  • ▪ Labor Werkstoffe und Fertigungsverfahren der Feinoptik 1 und 2

Praktische Demonstrationen in der Wissensvermittlung (z.B. Reinraumtechnik, optische Dünnschichttechnologie, Analysetechniken)

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