Labor für Mikrotechnologie

• ▪ Klimatisierter Reinraum-Klasse 10.000 mit Schleuse/ Arbeitsplätze Klasse 100
• ▪ Hochvakuumbeschichtungssystem UNIVEX 450 von Oerlikon Leybold Vacuum GmbH bestehend aus:
      - Elektronenstrahlverdampfer mit 4 Tiegelanordnung zur Erzeugung von Schichtsystemen
      - DC und RF Sputterquellen
      - Ionenstrahlätzer
• ▪ Analysetechnik bestehend aus:
      - Taktile und optische Profilometrie Dektak 6, NT1100 von Veeco
      - Digitales Lichtmikroskop Fa. Keyence VHX-600D

• ▪ Labor Fertigungstechnologien der Elektrotechnik
• ▪ Labor Werkstoffe und Fertigungsverfahren der Feinoptik 1 und 2

Praktische Demonstrationen in der Wissensvermittlung (z.B. Reinraumtechnik, optische Dünnschichttechnologie, Analysetechniken)