Labor für Mikrotechnologie

• Klimatisierter Reinraum-Klasse 10.000 mit Schleuse/ Arbeitsplätze Klasse 100
• Hochvakuumbeschichtungssystem UNIVEX 450 von Oerlikon Leybold Vacuum GmbH bestehend aus:
   - Elektronenstrahlverdampfer mit 4 Tiegelanordnung zur Erzeugung von Schichtsystemen
   - DC und RF Sputterquellen
   - Ionenstrahlätzer
• Analysetechnik bestehend aus:
   - Taktile und optische Profilometrie Dektak 6, NT1100 von Veeco
   - Digitales Lichtmikroskop Fa. Keyence VHX-600D

• Labor Fertigungstechnologien der Elektrotechnik
• Labor Werkstoffe und Fertigungsverfahren der Feinoptik 1 und 2

Praktische Demonstrationen in der Wissensvermittlung (z.B. Reinraumtechnik, optische Dünnschichttechnologie, Analysetechniken)